CUBE3.100
CUBE3.200
运动范围XYZ（µm）
100
200
分辨率XYZ（nm）
0,1
0,2
典型的噪声基准XYZ（nm）
0,01
0,02
全方位的重复性XYZ（nm）
0,4
线性化（典型的）
0,02%
谐振频率X / Y / Z（赫兹）
200/200/500
刚度 X/Y/Z (N/µm)
0,3/0,3/0,6
最大负载（kg）-水平使用
0,5
最大负载（kg）-垂直使用
传感器
Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)
63,5 x 63,5 x 52,45
材料
Al
电缆长度（m）
2
推荐控制器
Standard
产品 >> 纳米位移平台 >> 所有小类 共有 13 个产品 名称: CUBE3 3轴纳米位移平台名称: LFHS3 3轴纳米位移平台名称: LT3 3轴纳米位移平台名称: BIO3 3轴纳米位移平台名称: TT2 角度调节纳米位移平台名称: LTHS2 2轴纳米位移平台名称: LFHS2 双轴纳米位移平台名称: LT2 2轴纳米位移平台名称: BIO2 XY双轴纳米位移平台
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